伺服油壓機在低溫下工作時，如在-200℃以下工作的液壓缸， 建議使用氟化橡膠作密封件和防塵圈。由于在0℃以下工作時，為保護防塵圈不受破壞，因此常在防塵圈外側增設一個刮板。

       伺服油壓機液壓缸在一40℃以下工作時，要注意其金屬材料的低溫脆性破壞。鋼在低溫狀態下的機械性能：鋼的抗拉強度和疲勞極限隨溫度的降低而提升，在一40℃時，它的疲勞極限急劇下降。但沖擊值從一40℃開始卻顯著下降，致使材料的韌性變差。當受到強大的外力沖擊時，容易斷裂損壞。因此，在一40℃以下工作的液壓缸，應盡量避免用沖擊值低的高碳鋼、普通結構鋼等材料，用沖擊值較高的合金鋼。

       液壓缸中如有焊接部位，也要認真檢查；即縫在低溫條件下的強度和可靠性。伺服油壓機的密封件熱膨脹時，為了減輕高溫對防塵固的熱影響，除了采用石棉隔熱裝置外，還可以在防塵圈外部加上鋁青銅板。